小尺寸 MEMS 开封:MIP 保护薄铝 Pad
小尺寸 MEMS 器件的 Pad 表面铝层很薄,普通酸开封可能造成腐蚀和脱落。开芯采用 MIP 等离子开封,以保护薄铝 Pad 和键合连接为重点,为后续失效分析保留可观察、可复核的结构。
阅读详情从真实样品出发,了解开封过程、结果复核与工艺选择。
小尺寸 MEMS 器件的 Pad 表面铝层很薄,普通酸开封可能造成腐蚀和脱落。开芯采用 MIP 等离子开封,以保护薄铝 Pad 和键合连接为重点,为后续失效分析保留可观察、可复核的结构。
阅读详情围绕叠层遮挡、细密键合线和层间残胶,结合两个实拍案例,说明 MIP 开封的解决思路,以及 iMech Pro 与 MIP 配合进行后续 Die 去层的应用路径。
阅读详情面向半导体失效分析的 3D 封装芯片开封案例:客户机械研磨后采用 MIP 等离子去除 Underfill,关注 μbump 微凸点保护,并评估 iMech Pro 局部研磨与 MIP 后处理的组合路径。
阅读详情告诉我们封装类型、分析目标与需要保留的结构,一起确定适合的开封路径。