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IDECAP技术介绍
激光等离子技术
能有效解决强酸对人员不安全,
对铜线铝线等腐蚀较大的问题,
普通CF4离子开封较慢且损伤绑线和钝化层的问题,
设备原理
步骤一
视觉系统选择需要等开封的区域
步骤二
激光减薄,留下薄薄一层塑封料,以免损伤晶圆
步骤三
设定等离子参数,一键自动开封
框选开封位置
Laser减薄
Plasma解封
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经验
更多案例或者信息请联络开芯人员
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